Abstract
<jats:p>Металл өңдеу өнеркәсібінде сумен араласатын майлау-салқындату сұйықтықтарының (МСС) микробиологиялық ластануы және биоқабыршақтардың түзілуі маңызды мәселе болып табылады. Бұл үдеріс МСС қасиеттерінің нашарлауына, коррозияға және жабдықтың жеделдетілген механикалық тозуына әкеледі. Бұл мәселе сандық бағдарламалық басқаруы (СББ) бар заманауи станоктардың дәлдік түйіндерінің мерзімінен бұрын істен шығуына және өңдеу сапасының төмендеуіне тікелей әсер етеді. МСС жүйелерінің биологиялық ластануының алдын алу үшін магнетрондық тұндыру әдісімен алынған бактерицидтік Ta-Cu жабындарының технологиялық параметрлерін зерттеу және тиімділігін бағалау жұмысы жүргізілді. Тұндыру үдерісі EPOS-PVD-440 қондырғысында үш түрлі режимде жүргізілді. Тұндыру үдерісінде жоғары тазалықтағы тантал және мыс материалдары қолданылды. Жабындардың химиялық құрамы энергия-дисперсиялық анализаторы бар сканерлеуші электрондық микроскоп арқылы талданды. Бактерицидтік тиімділікті бағалау үшін үлгілерді бактериялық суспензиямен бірлесіп өсіру және колонияларды санау әдісі қолданылды. Зерттеу барысында массасы бойынша орташа есеппен 89,1 % тантал және 9,6 % мыс мөлшері бар тұрақты Ta-Cu бинарлы жүйесінің қалыптасуы расталды. Эксперименттік үлгілердің барлығы бақылау тобымен салыстырғанда айқын бактерицидтік белсенділік көрсетті. Сонымен қатар, әртүрлі технологиялық режимдер үшін энергия тиімділігін бағалау мақсатында меншікті тұтынылатын қуат есептелді. Кілтті сөздер: жабындар, Ta-Cu, майлау-салқындату сұйықтықтары, СББ станогі, магнетрондық қондырғы.</jats:p>