Abstract
<jats:p>Рассматриваются теоретические основы и практические аспекты применения метода микроскопии фотонной эмиссии (ФЭМ) для анализа элементов интегральных микросхем (ИМС) при контроле их качества. Представлен обзор физических механизмов генерации фотонов в полупроводниковых структурах, описаны основные режимы работы ФЭМ-систем и возможности метода для локализации различных типов дефектов. Приведены практические примеры применения метода в условиях разработки и производства микроэлектроники.</jats:p>
Show More
Keywords
метода
практические
применения
для
Рассматриваются
PORE